核心参数
- 器件类型:二极管
- 掺杂类型:p型(硼)
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
产品概述
镓仁半导体可提供高质量氧化镓专用长晶设备
技术参数
晶体生长炉设备指标
最高工作温度:1820℃;
高温工作气氛:大气环境(O2浓度 ≈ 21%);
连续工作时长:≥100h ,确保完成一炉晶体生长;
晶体生长段温度梯度:≈10 ℃/cm;
晶体生长速度:0.2 ~ 4 mm/h。
高温工艺段控温精度:≤ ±0.2 ℃
全温度段控温精度:≤ ±0.3 ℃
杭州镓仁半导体有限公司
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