工作原理

使用1个电流源通过串联加热两组灯丝组，每个灯丝组有21个灯丝位置，允许一次对21个位置进行去气，也可连续依次对2组灯丝（42个）进行去气。设备的工作程序设定和设备的操控采取平板电脑触摸屏的方式。

技术指标

◦输入电源：220 VAC（±10%），50-60 Hz

◦输出能力：0-150 V / ******15 A（电流控制精度±50 mA）

◦控制系统：Intel Celeron J1800处理器，2GB SRAM，支持RS485通信

真空保护

◦启动阈值：≤ 5×10⁻⁶ mbar（自动触发去气流程）

◦异常终止：≥ 5×10⁻⁴ mbar（自动暂停去气流程）

高效去气模式

◦支持自定义烧带流程，可设定电流值（如闪烧电流≤4.8 A）及间隔时间，程序文件断电后仍可保存。

智能监控

◦通过平板电脑触摸屏实时显示真空度、灯丝电流/电压、分子泵转速等

关键参数

◦尺寸：68 cm（长）× 62 cm（宽）× 150 cm（高，打开腔室时）

◦重量：80 kg（不含前级机械泵）

◦输入电源：220 VAC（±10%），50-60 Hz

运行环境

◦温度：10-35℃

◦湿度：30%-90%（无冷凝）

◦海拔：最高3000米

安全与保障

◦紧急电源切断开关，支持快速断电

◦真空腔体高温防护罩，防止烫伤

质量保障体系

◦认证标准：ISO 9001/CE双认证

◦老化测试：72小时连续高温真空测试

◦泄漏控制：年泄漏率＜0.5%（氦质谱检测）

服务支持

交付周期：10-12周（含定制化调试）

技术支持：24小时诊断响应

数据服务：操作日志自动生成（温度/电流/真空度时间序列）