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核心参数
- 器件类型：二极管
- 掺杂类型：p型（硼）
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
产品性能：
◆垂直结构，高效产能，150片/批
◆稳定优良的成膜均匀性，重复性好
◆微环境低氧控制先进技术
◆硅片颗粒度控制稳定，国际标准
◆全自动流程，盒对盒，21盒存储
◆高集成度，完整的工厂MES系统对接
◆符合SECSⅡ/HSMS/GEM等标准
配套工艺：
◆氧化：干氧/湿氧（DCE, HCL）
◆氮、氢退火（快速热退火），烧结、合金，固化等
◆LPCVD工艺：多晶硅，氮化硅，氧化硅（PSG、BPSG等），TEOS,LTO/HTO,SIPOS等。
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青岛华旗科技有限公司
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