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电子级多晶硅化学气相沉积炉

电子级多晶硅化学气相沉积炉
  • 品牌:韵申新能源
  • 产地:上海
  • 关注度:21
  • 型号:电子级多晶硅化学气相沉积炉
  • 报价:面议
核心参数
  • 器件类型:二极管
  • 掺杂类型:p型(硼)
  • 仪器种类:实验室
  • 测定原理:其它
  • 测定范围:0.01~5mg/L
  • 测定准确度:±1%
  • 检出限 :≤0.005mg/L
  • 测定时间:30样品/小时
  • 批处理量:不限
产品介绍

产品特点

采用银钢复合板作为反应腔体,对反应原料进行汽化、提纯、过滤等一系列纯化操作后,将高纯反应气体通入到反应器内,发生化学气相沉积反应生产高纯度的多晶硅产品,满足半导体级硅料的要求。

产品参数

可根据客户需求进行非标走制.


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