产品特点•316L不锈钢电抛光壳体•全氟内芯组件•洁净室制作、包装•结构紧凑易于安装•100%完整性测试•100%氦质谱检漏•18MΩ超纯水清洗产品系列ProductFamily过滤精度Rating接口类型Connections接口尺寸Size行业代码IndustryAPGATNM03RR4SAPGAT-AltraPure®GigaATNM03-0.003μm0001-0.01μm0010-0.1μmRR-垫片密封(VCR兼容)SS-压缩密封(SWG兼容)BW-对接焊接8-1/2"12-3/4"16-1"S-半导体行业*对于压缩密封接口规格的过滤器,默认不包含安装

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产品描述AltraPureMax系列在线式气体过滤器，设计为过滤≥3nm(0.003μm)颗粒物的工艺气体。AltraPureMax为大工作流量范围(0~1000slpm)、关键工艺气体应用提供了一个具有成本效益的过滤解决方案。过滤器具有优秀的化学兼容性，适用于所有种类的半导体制程气体，如:大宗气体输送、光刻、沉积、干法刻蚀、离子注入、氧化、扩散等半导体工艺制程中工艺气体、吹扫气体、保护气体、载体气体等的过滤。产品特点•316L不锈钢电抛光壳体•耐受高温、高压工作环境•洁净室制作、包装•全氟内芯组件•100%完整性测试•100%氦质谱检漏•纳污量高，工作寿命长•优秀的化学兼容性•结构紧凑易于安

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产品描述AltraPureNomiFP系列在线气体过滤器，设计为过滤3nm(0.003μm)颗粒的工艺气体。NomiFP为中等流量、非关键工艺气体应用提供了一个具有成本效益的过滤解决方案。推荐用于大宗气体过滤应用，如:仪表气、风刀、吹扫/排气管道、二次配、干燥机等过程中的干燥压缩空气、氮气、惰性气体等。产品特点•316L不锈钢电解抛光壳体•疏水PTFE滤膜•结构紧凑，易于安装•有标准产品和小型产品供选择•100%完整性测试•100%氦质谱检漏•洁净室制作、包装

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