性能

可用量程：大-5000至+5000 slpm；小-0.5至 +0.5 sccm/-500 sμlm至500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）

标准精度：±（0.8%读数+0.2%满量程），双向

高精度（选配）：±（0.4%读数+0.2%满量程），双向

可重复性：0.2%满量程

标准控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）

无需预热时间

工作条件

兼容气体：98种（MCD系列）或130种（MCDS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体

工作温度：-10°C至+60°C

大内部压力（静态）：145 psig（160 psia）

耐受压力：175 psig（190 psia）

STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）