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核心参数
- 气体及流量控制：采用高精度高响应MFC控制 品牌进口Alicat
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
1.提供先进的成套MPCVD气相沉积系统。
2.系统核心器件电源、磁控管国产化，微波功率可到75kW。
3.拥有CST、Comsol模拟仿真和大型工作站，可进行2450MHz、915MHz频段的腔体仿真优化和快速迭代升级。
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南京三乐微波技术发展有限公司
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