江苏卓远半导体有限公司

我们是第三代半导体高新科技企业卓远半导体成立于2018年，是一家以创新开发为主导，以先进技术为基石的第三代半导体高新科技企业。新建研发及产业基地位于江苏省如皋高新技术产业开发区，占地约90亩，总投入2.5亿元。多项技术打破壁垒公司自成立以来一直专注于宽禁带半导体晶体装备及其材料的研发生产与制造，主营业务有宽禁带半导体晶体生长装备、金刚石与碳化硅SiC晶体工艺及解决方案以及在智慧电网、新能源汽车等领域的相关应用。实力雄厚的科研团队公司现有职工100余人，技术研发人员52人，其中2人获评国家重大人才工程A类专家，组建有AI人工智能、无机非金属材料、结构力学、微电子学、电气和应用物理等多学科研发人员

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主推产品

金刚石长晶设备（6kw）

型号：6kw

产品概述卓远半导体运用先进工艺，以晶体生长工艺技术为导向，研发出金刚石长晶设备。其所使用的真空微波电浆系统是智能化、高科技真空电浆运用的主流。技术参数序号项目规格/参数01尺寸（约）1450L*1130W*1880H(mm)02重量（约）380kg03微波功率6kw/2.45GHZ04腔体材料StainlessSteel05冷却方式Water-cooling06底盘高度50mm(2inch)07主要气体管道4路MFC08工作压力范围10-200torr09真空检漏值1X10-9mbar.l/sec10真空泵RotaryPump[(18/22)m3/h(50/60HZ)]11CDA压力5-7kg

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金刚石长晶设备（10kw）

型号：金刚石长晶设备（10kw）

IntelligentMPCVDDimondGrowthSystem(IMD)系列金刚石晶体生长系统，是实现高质量金刚石晶体生长、高纯度晶体薄膜沉积、高温晶体热处理的专业设备。广泛应用于金刚石晶体生长、原料沉积、晶体热处理领域。技术参数序号项目规格/参数01尺寸(约)1800x1200x2100mm02重量(约)500kg03微波功率MAX12kw/2.45GHZ04微波泄漏值＜5mw/cm205腔体材料风冷式石英中罩式腔体，高纯石英密封环06腔体保压2小时保压漏率小于0.3Torr07主要气体管道5路MFC08极限真空值＜1.0x10-9mbar.l/s09极限真空≤0.6Pa10进样口底面

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金刚石长晶设备（6kw）

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金刚石长晶设备（10kw）

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