YX-2D6系列蓝宝石、硅单晶及其他单晶体定向仪
型号:YX-2D6系列蓝宝石、硅单晶及其他单晶体定向仪
YX-2D6系列蓝宝石、硅单晶及其他单晶体定向仪:是在标准定向仪基础上,针对单晶硅、蓝宝石、砷化稼等多种晶体设计,主要用于晶圆片、晶棒的测量,显示器为外置式,样品台加装承重轨道.属于通用型。标准配置如下:GA,GB测角仪。1、一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片;111,100,等角度;能测晶棒参考面110;OF等角度。蓝宝石A,C,R面等角度.2、另一侧GB专为晶棒设计,设计为宽130,长300平托板,配2个可移动尼龙V型槽晶棒托,能测Φ2---Φ6英寸晶圆片;能测晶棒端面Φ2---Φ6英寸,长400晶棒;如:硅(111)蓝宝石C面等角度;第一个测2---3英寸端面,第二个测4--