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核心参数
- 器件类型：二极管
- 掺杂类型：p型（硼）
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
桌面单点测量
低成本的台式少子寿命测量系统，对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。
没有内置自动化。可选配手动z轴，用于厚度在156毫米以下的晶锭。
MDPspot可配电阻率测试选项。仅适用于硅，用于晶圆片，也可用于晶锭。
结果可视化的标准软件。
特性
无接触和非破坏的电学参数测试
对外延工艺监控和不可见缺陷检测，具有高分辨的可视化测试
对于不同级别晶圆片，提供不同的菜单选项
优势
用于不同制备阶段，从成体到最终器件，多晶硅或单晶硅单点测量载流子寿命的台式装置。
体积小，成本低，使用方便。拥有一个基本的软件，结果可视化。
适用于晶圆片到晶锭，易于高度调整。
技术参数
| 样品 | 不同工艺处理样品，如钝化或扩散后的单晶或多晶硅晶圆、晶锭、电池等 |
| 样品尺寸 | 50 x 50 mm² 到12“ 或210 x 210 mm² |
| 电阻率 | 0.2 - 10³ Ohm cm |
| 材质 | 硅晶圆，晶锭，部分或全部加工晶圆，化合物半导体和其它类型 |
| 少子寿命检测范围 | 20ns到几十ms |
| 尺寸 | 360 x 360 x 520 mm，质量：16 kg |
| 电源 | 110/220 V, 50/60 Hz, 3 A |
其它细节
允许单片调查
不同种类晶圆片有不同的菜单
监控材料、工艺质量和稳定性
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弗莱贝格仪器（上海）有限公司
1 年
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