产品介绍

坩埚装料一体机包含坩埚装料模组、坩埚搬运模组、开盖模组、双层接驳位、坩埚线边库等部分，可实现最多四种硅料不同重量的装埚作业，最大可兼容40寸坩埚，降低人工作业的强度，改善装料环境。

产品特点

坩埚线边库可实现提前备料，采用垛机自动出入库；
双层对接线体采用双工位设计，一用一备，节省换料时间；
采用机器人抓取料箱自动开盖装料，改善人工作业环境；
可自动拆除坩埚外包装，并自动将坩埚搬运至装料平台上；
可实现石英坩埚自动装料，并与AGV系统对接，实现自动拉车送车；
可与MES系统互联，实现装料数据上传，数据可追溯到料箱编号和坩埚编号。