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核心参数
- 器件类型：二极管
- 掺杂类型：p型（硼）
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
详情介绍
v 光源：375 nm、385 nm、405 nm 激光器
v 线宽：0.5μm、0.6μm、1.0μm、1.5μm
v 光刻效率：最快3000mm2/min@5μm
v XY行程：55~205mm
v 样品尺寸：最小3mm*3mm 最大8 inch
v 应用领域：生物芯片、功率芯片光刻、掩膜版制造、3D衍射光学元件、先进芯片封装、光通讯芯片光刻
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深圳市矢量科学仪器有限公司
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