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核心参数
- 器件类型：二极管
- 掺杂类型：p型（硼）
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
详情介绍
v 可为多种材料提供各向异性干法刻蚀工艺
v 兼容200mm以下所有尺寸的晶圆，快速更换到不同尺寸的晶圆工艺
v 电极的适用温度范围宽，-150°C至400°C
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深圳市矢量科学仪器有限公司
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