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核心参数
- 器件类型：二极管
- 掺杂类型：p型（硼）
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
详情介绍
v 在喷涂法中，喷嘴将要涂抹的溶液喷在晶圆上。经过优化后的晶圆上方喷嘴移动路径可以实现在衬底上均匀的涂层。喷涂所用的液体通常粘度极低，以确保形成细小的液滴
v 喷涂法即使在凹凸图形上也能形成均匀涂层，因此它是这种结构的首选方法。喷涂法还能喷涂方形的衬底
v 对起伏台阶几微米到600微米以上的三维微结构加工
v 基板尺寸最大直径为200 mm，方形最大边长为 6inch
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深圳市矢量科学仪器有限公司
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