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核心参数
- 器件类型：二极管
- 掺杂类型：p型（硼）
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
详情介绍
v 应用领域：Pillar，Bump，RDL，TSV等工艺
v 晶圆尺寸：150mm~300mm
v 设备配置：
Ø 最多3个loadport
Ø 最多24个电镀腔体：Cu、Ni、Sn/Ag、Au
Ø 最多4个预湿腔体，4个清洗腔体
Ø 水平式电镀腔体，无交叉污染
Ø 支持模块化维护，提高设备正常运行时间
Ø 橡胶密封技术，更佳密封性能
Ø 阴阳极分离技术，更佳镀液稳定性
v 工艺指标：
v 高度均匀性：WiW≤5% WtW≤5% RtR≤5%
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深圳市矢量科学仪器有限公司
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