​碳化硅的硬度很大，莫氏硬度为9.5级，仅次于金刚石、碳化硼和立方氮化硼，这让后期加工变得非常困难。传统采用金刚石砂轮、金刚石线切割的方法效率低，刀具磨损严重，因而加工成本高昂。在较厚碳化硅微精加工方面，传统方法已无法满足要求。水导激光是将激光聚焦后导入微水柱中，水柱的直径根据喷嘴孔径有100～30μ