产品特点

精度和稳定性

温度补偿，保证恶劣环境下的稳定测量

便捷性

轻松一键调零，可调零点偏移， 安装简便

可视化的工作状态指示灯

同时具备数字RS422/485通信、 模拟输出

安全性

暴露于工艺端的材料为稳定无污染的高纯水晶、不锈钢

连接工艺端的接口气密性优于1×10-9pa·m3/s，有效阻挡工艺端气体的泄露

产品数据

量 程

OP1 0.1Torr

100 1Torr

101 10Torr

201 20Torr

102 100Torr

103 1000Torr

性能参数（读值精度/分辨率）

M 0.25% of R.D./0.01% of F.S.

L¹ 0.5% of R.D./0.02% of F.S.

温度影响

温度系数 零 点       M 0.02% of F.S./℃       L¹ 0.05% of F.S./℃

工作温度 0℃～+80℃

存储温度 -20℃～+65℃

物理参数

壳 体 铝合金

电气接口 D型9针/15针

机械接口 见订购信息

内部容积 4.4cc

暴漏于真空的材料 石英，不锈钢

安装方向 垂直or 水平/按需

**压力 300kPa

重 量 265±2g(不含接头)

电气参数

供 电 24VDC±5VDC@40mA

输出信号 0～10V；4～20mA

现场总线 RS422；RS485；Ether CAT

输出阻抗 <10Ω