PCS 系列复合规内部集成有薄膜电容芯体以及皮拉尼芯体，压力测量范围涵盖0.005Pa到1.5个大气压。大气压力范围内能够实现准确重复的与气氛类别无关的压力测量，采用高洁净度加工工艺，适用于对洁净度要求更高的应用场景。