成都稳正科技有限公司

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成都稳正科技有限公司成立于2019年，是一家专注于微波等离子化学气相沉积（MPCVD）设备、高品质金刚石晶体材料研发、生产和销售的高科技企业，公司设立在誉有“古蜀之都、天府之源”的成都市郫都区电子产业功能区。公司现拥有资深的研发人员和工艺技术骨干，具有硕士、学士学历以上文凭占比80%，大专以上学历100%。自主研发3种类型高稳定性、自动化MPCVD设备。一贯坚持设备与工艺相结合的理念，配套开发出适合该设备量产的CVD培育钻石工艺，实现了CVD方法制备高品质金刚石单晶的产业化。促进培育钻石、金刚石散热材料、金刚石光学材料、金刚石半导体等产业的发展。公司自成立以来，始终坚持以客户需求为核心，诚信

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型号：MW-670微波等离子设备——6kw

生长台尺寸：φ70mm可同时生长7mm*7mm单晶45粒10mm*10mm单晶21粒控制方式：触摸屏控制，PLC工艺菜单运行（手动或自动）微波电源：MUEGGE6KW2.45GHz真空泵：LeyboldD16C/KYKYRV-4三相旋片泵流量计：日本KOFLOC

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MW-1070微波等离子设备——10kw

型号：MW-1070微波等离子设备——10kw

生长台尺寸：φ100mm控制方式：触摸屏控制，PLC工艺菜单运行（手动或自动）微波电源：MUEGGE10KW2.45GHz真空泵：LeyboldD16C/KYKYRV-4三相旋片泵流量计：日本KOFLOCH2（1000sccm）、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2（10sccm）腔体冷却方式：水冷测温：红外测温仪300-1400℃机台尺寸：1215mm（长）*1114mm（宽）*2000mm（高）供电：380V三相五线能耗：16kw

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