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核心参数
- 器件类型：二极管
- 掺杂类型：p型（硼）
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
适用于SIH4硅烷，NH3氨气，N20笑气，HCI氯化气等大流量工艺需求的介质。
设备基础配置参数：
l 供气盘面：自动/手切气体切换，自动/手动气体吹扫
l 自动远程切断
l 防爆玻璃观察窗、防爆自锁门、防爆电控箱
l 10-12寸彩色中文人机界面，实现人气分离全自动触摸屏操作
l 泄露报警、负压报警
可选配置：
l 面板加热
l 钢瓶加热
l 电子磅秤
配置 UV/IR,喷淋头，高温，烟感应
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西安镜屏半导体科技有限公司
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