产品特点:

既保证了高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀，又在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。

该系统具有高真空压力和抽空时间测试。

具有先进编程能力的行业优秀软件控制系统，系统的灵活性可以被配罟为溅射系统，电子束系统，OLED系统，热蒸发系统或这些过程的任何组合。可以集成各种光学和光谱技术，并将系统集成到需要性气氛的研究手套箱中。

产品应用:半导体工业中MOCVD技术、微电子半导体、OLED/PLED开发与生产、锂离子电池开发与生产、纳米材料研究、催化剂研究、钙钛矿太阳能电池的研发。