在线气体过滤器_参数_报价_上海敖纯过滤技术有限公司

在线气体过滤器

核心参数

产品介绍

产品描述

AltraPure Mini在线式气体过滤器专为超高纯度气体过滤应用而设计。过滤器采用2层PTFE滤膜，对干燥气体的过滤精度达到0.003μm。

过滤器采用高纯度全氟聚合物内芯，具有优秀的化学兼容性，适用于所有种类的半导体制程气体，如:大宗气体输送、光刻、沉积、干法刻蚀、离子注入、氧化、扩散等半导体工艺制程中工艺气体、吹扫气体、保护气体、载体气体等的过滤。

产品特点

• 316L不锈钢电解抛光壳体
• 全氟内芯组件
• 优秀的化学兼容性
• 结构紧凑,易于安装
• 耐受高温、高压工作环境
• 洁净室制作、包装
• 100%完整性测试
• 100%氦质谱检漏
• Semi F20 超纯不锈钢壳体(可选)

订购信息

壳体材质 Material	产品系列 Product Family	过滤精度 Rating	接口类型 Connections	接口尺寸 Size	行业代码 Industry
	APM	NM03	RR	4	S
默认:316L V: 316L VAR	APM-AltraPure® Mini	NM03-0.003μm 0001-0.01μm 0010-0.1μm	RR-垫片密封(VCR兼容) SS-压缩密封(SWG兼容) BW-对接焊接 RMF-垫片密封(VCR兼容),公进/母出 RFM-垫片密封(VCR兼容),母进/公出 RC-Rc外螺纹/外螺纹 NP-NPT内螺纹/内螺纹	4-1/4" 6-3/8"	S-半导体行业

*对于压缩密封接口规格的过滤器,默认不包含安装螺母、卡套配件。若需要附带安装配件,请在型号后加“-N”。