产品描述

AltraPure Max 系列在线式气体过滤器，设计为过滤≥3nm(0.003μm)颗粒物的工艺气体。AltraPure Max为大工作流量范围(0~1000slpm)、关键工艺气体应用提供了一个具有成本效益的过滤解决方案。

过滤器具有优秀的化学兼容性，适用于所有种类的半导体制程气体，如:大宗气体输送、光刻、沉积、干法刻蚀、离子注入、氧化、扩散等半导体工艺制程中工艺气体、吹扫气体、保护气体、载体气体等的过滤。

产品特点

• 316L不锈钢电抛光壳体

• 耐受高温、高压工作环境

• 洁净室制作、包装

• 全氟内芯组件

• 100%完整性测试

• 100%氦质谱检漏

• 纳污量高，工作寿命长

• 优秀的化学兼容性

• 结构紧凑易于安装