产品描述

GSKT 嵌入式垫片过滤器，是一种紧凑的全金属过滤器，适用于半导体制程气体分配系统中的采用标准管路的 1/4"、3/8"、1/2"VCR连接的场景。

这些紧凑型过滤器保护敏感气体组件在高达 400°C(752°F)的应用中免受颗粒物影响而受到损坏，如:质量流量控制器，调节器和阀门等。垫片过滤器是一种经济实惠的防护措施，可以防止污染对对这些关键部件产生不利影响。

过滤元件采用等静压烧结工艺，微孔孔隙更均匀，强度更好，适用较大脉冲气流的应用工况。

产品特点

• 适配1/4”、3/8”、1/2”VCR接口

• 易于置入标准气体管路

• 可选支撑，易于安装

• 保护气体元件免于颗粒物损伤

• 适用高温、高压应用场景

• 洁净室制作、包装

• 等静压烧结工艺