产品描述

AltraPure® GSD快速气体扩散器可快速将工艺设备真空腔室与大气环境进行通风，从而缩短工艺周期时间，并提高工艺产量。

应用

AltraPure® GSD快速气体扩散器，可以使用与真空进样室、传输室、冷却室，和半导体工艺设备的真空工艺室如:CVD、PVD、Etch、Epi或其它真空室等。