产品描述

AltraPure® II系列 IGS 气体过滤器，设计用于对半导体制程工艺气体进行≥3nm(0.003μm)的颗粒物过滤。

过滤器采用 316L不锈钢外壳及滤材。全金属结构设计，特别适用于高温:和动态高压差的过滤应用。过滤器具有优秀的耐腐蚀性能，与惰性气体和反应气体均具有较好的化学相容性。

相较于标准在线式设计，IGS系列过滤器在气体面板上占用空间更小，同时减少零部件库存和规格变更。

产品特点

• 全金属结构
• 消除真空释气
• 更大过滤面积
• 结构紧凑，应用于有限空间内
• 100%完整性测试
• 100%气密性测试
• 高温、动态高压差应用
• 洁净室制作、包装
• 超精密清洗