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核心参数
- 器件类型：二极管
- 掺杂类型：p型（硼）
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
产品描述
AltraPure® Il SFTR 大流量气体过滤器，专为高流量的工艺气体过滤应用而进行设计，用于对半导体制程工艺气体进行≥3nm(0.003μm)的颗粒物过滤。
产品特点
• 全金属结构
• 消除真空释气
• 高温、动态高压差应用
• 高流速、低阻力
• 100%完整性测试
• 100%气密性测试
• 洁净室制作、包装
• 超精密清洗
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上海敖纯过滤技术有限公司
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