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核心参数
- 器件类型：二极管
- 掺杂类型：p型（硼）
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
产品描述
AltraPure® II SFTX 在线气体过滤器，设计用于对半导体制程工艺气体进行≥3nm(0.003μm)的颗粒物过滤。
产品特点
• 全金属结构
• 消除真空释气
• 更大过滤面积
• 结构紧凑，应用于有限空间内
• 100%完整性测试
• 100%气密性测试
• 高温、动态高压差应用
• 洁净室制作、包装
• 超精密清洗
产品系列 | 工作流量 | 过滤精度 | 接口类型 | 接口尺寸 | 行业代码 |
SFTX | 100 | NM03 | RR | 4 | S |
SFTX-AltraPure® II | 100-0~100slpm | NM03-0.003μm | RR-金属垫片密封(VCR兼容) SS-卡套密封(SWG 兼容) | 4-1/4" | S:半导体行业 |
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上海敖纯过滤技术有限公司
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