用途:

用于对在化学机械法中对晶圆进行表面膜平坦化处理作业的抛光垫进行修整。

特点:

1、金刚石层出刃高度均匀一致，对抛光垫具有非常好的修整效率。

2、采用钎焊技术，从而保证金刚石具有更强的把持力。