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核心参数
- 微波频率：2.45GHz
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
该设备为微波等离子化学气相沉积系统（MWCVD）。采用2.45GHz频率微波源，激发稳定的等离子体。电场激发模式为TM021模式，该系统可以稳定生长金刚石单晶材料、多晶晶圆。
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杭州晶驰机电有限公司
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