杭州晶驰机电有限公司
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杭州晶驰机电有限公司成立于2021年7月,公司总部与研发中心位于杭州市萧山区浙江大学杭州国际科创中心,办公面积约1000 ㎡。公司致力于精密焊接技术的研究,金属管件和真空腔体的开发与生产。主要为国内外半导体设备——PVD、CVD、PECVD、MOCVD、刻蚀机、离子注入机等提供专用高端精密零部件,是国内外半导体设备厂的重要供应商。同时产品广泛应用于大科学装置、太阳能光伏、LED、制药设备和特种真空设备等一系列高端产业。产品技术达到国际****,处于同行业发展前列。
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主推产品

第二代碳化硅晶片腐蚀清洗设备
型号:第二代碳化硅晶片腐蚀清洗设备

设备采用四工位设计,全封闭工作台和强排风系统有效防止腐蚀性碱蒸汽对操作人员的身体伤害。该系统集SiC晶片热强碱腐蚀、快速清洗,再次超声清洗和晶片烘干为一体,充分避免了操作人员与腐蚀性强碱溶剂的接触。整个工艺流程全部自动化控制,操作人员只需完成取放片操作,腐蚀效率高,适合产业化应用。

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75KW环形天线微波等离子体沉积系统
型号:75KW环形天线微波等离子体沉积系统

该设备为微波等离子化学气相沉积系统(MWCVD)。采用915MHz频率的微波源激发稳定的等离子体。该设备可以稳定生长金刚石单晶材料、多晶晶圆。通过工艺调节,可以稳定生长出4英寸(~6英寸)的金刚石晶圆薄膜。Thedeviceisamicrowaveplasmachemicalvapordepositionsystem(MWCVD).Thestableplasmaisexcitedbyamicrowavesourcewithafrequencyof915MHz.Theequipmentcanstablygrowdiamondmonocrystallinematerialsandpolycryst

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裂缝耦合微波等离子体沉积系统
型号:裂缝耦合微波等离子体沉积系统

主要应用领域:半导体衬底、热沉片、珠宝、刀具、机械密封、新一代移动通信、智能电网、消费类电子等。

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第二代碳化硅晶片腐蚀清洗设备

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75KW环形天线微波等离子体沉积系统

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75KW环形天线微波等离子体沉积系统

型号:75KW环形天线微波等离子体沉积系统

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裂缝耦合微波等离子体沉积系统

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抛物面环形天线微波等离子体沉积系统

型号:抛物面环形天线微波等离子体沉积系统

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小圆柱式微波等离子体沉积(CVD)系统

型号:小圆柱式微波等离子体沉积(CVD)系统

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第二代碳化硅晶片腐蚀清洗设备

型号:第二代碳化硅晶片腐蚀清洗设备

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75KW环形天线微波等离子体沉积系统

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裂缝耦合微波等离子体沉积系统

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抛物面环形天线微波等离子体沉积系统

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小圆柱式微波等离子体沉积(CVD)系统

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晶驰机电成功开发出电阻法12寸碳化硅晶体生长设备,实现碳化硅晶体生长技术新突破!

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