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核心参数
- 器件类型：二极管
- 掺杂类型：p型（硼）
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
| 主要功能 | 对切片后的硅片进行脱胶 |
| 过程控制 | 品牌PLC自动控制，设备自动处理 |
| UPTIME | 98%(24h/天，年工作日在353天以上) |
| 生产时间 | 三班制(注：一天工作24h/天，330天/年) |
| 产能 | ≧180板/天 |
| 节拍 | ≦7.5分/板(用户自定，可调) |
| 适应晶棒 | 兼容4~8寸的各种晶托 |
| 适应尺寸 | 各槽体尺寸：满足1000mm晶棒(含铁板、铝尾座)放入槽体运行 |
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连城凯克斯科技有限公司
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