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产品简介金刚石衬底切片金刚石衬底切片切割面粗糙度检测Ra=0.336um
性能6英寸单片晶圆片降低衬底总成本35%;效率提升8倍FRT表面形貌测试BOW=1.4umAFM表面测试Ra=0.73um晶片表面可直接进行CMP
金刚石衬底切片
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