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核心参数
- 器件类型：二极管
- 掺杂类型：p型（硼）
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
性能
6英寸单片晶圆片降低衬底总成本35%;效率提升8倍
FRT表面形貌测试 BOW=1.4um
AFM表面测试 Ra=0.73um
晶片表面可直接进行CMP
西安晟光硅研半导体科技有限公司
1 年
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