核心参数
- 磨削方式:干磨
- 结合剂类型:其他
- 金刚石类型:人工金刚石
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
主要用于硅、化合物半导体(碳化硅、砷化镓、磷化铟、氮化镓、钽酸锂、铌酸锂、玻璃、蓝宝石)等半导体材料衬底片和晶圆片的磨削减,还可用于封装材料的表面磨削,包括但不限于EMC封装、玻璃/陶瓷封装等复合材料的磨削。
可提供陶瓷结合剂、树脂结合剂、金属结合剂三类减薄砂轮。砂轮性能优异、磨削表面质量好。可根据加工材料特性、尺寸以及使用的设备提供适用的砂轮及磨削工艺,能满足不同半导体材料以及加工磨床多元化发展的需要。
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国机金刚石(河南)有限公司
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