薄膜材料的机电性能是MEMS器件设计的关键性能，纵向压电系数d33和横向压电系数e31被用于表征传感器和执行器的这些关键性能。
纵向压电系数可由aixDBLI测试，而横向压电系数e31就可用aix4PB系统测试。
通过必要夹具，可以测得正向e31和逆向e31。

标准的aix4PB系统主要由以下部分组成：四点弯曲样品夹具、TF Analyzer 2000、单光束激光测振仪。