晶驰机电成功开发出电阻法12寸碳化硅晶体生长设备,实现碳化硅晶体生长技术新突破!
晶驰机电2025-08-06
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2025年3月,在我司研发团队人员不懈努力下,由我司自主研发的“电阻法碳化硅单晶生长设备”通过创新热场方案完成十二寸多晶生长验证。
晶锭形态完美,表面微凸度精准控制在2.4mm以内,成功突破同一炉台多尺寸生长技术壁垒,实现了同一台设备既可稳定量产八寸碳化硅单晶,又完全具备生长十二寸碳化硅单晶的能力。
该成果的成功不仅标志着我司相关设备的兼容性与工艺灵活性达到行业领先水平,也为第三代半导体材料低成本扩径量产提供了全新解决方案。
晶驰机电作为浙江大学杭州国际科创中心的孵化企业,将努力弘扬求是精神,秉持创新驱动发展的理念,深化产学研合作,强化自主创新能力,不断优化产品性能,提高技术成果转化效率,扩大生产规模,以满足全球市场对高性能碳化硅材料日益增长的需求。
晶驰机电始终坚持“合作共赢,拥抱未来”的态度,并长期致力于第三、第四代半导体材料制造行业,旨在为客户提供更优质的产品和服务,以推动社会进步和创造可持续发展的未来。
技术升级,不仅可以不换设备,更能助力客户高效拓展产能!
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