核心参数
- 器件类型:晶体管
- 掺杂类型:n型(磷/硫)
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
本设备主要利用激光进行诱导不同材质0.1~1mm厚晶圆玻璃的微孔加工(TGV)的全自动设备,可以实现各种尺寸盲孔、圆锥(通)孔的制备。
■ 设备参数
设备能力 | |
加工材料 | 熔融石英,AF32等 |
加工能力 | *小孔径:5μm@石英玻璃,厚度200~300μm |
加工精度 | ±5μm,CPK>1.33 |
加工效率 | **5000孔/s |
产品尺寸 | 6”&8” |
激光类型 | IR(飞秒) |
上料模组 | Bare wafer Load Port*1 |
通讯方式 | SECS/GEM |
用于玻璃通孔(TGV)、玻璃钻孔等
■ 加工效果示例图

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苏州德龙激光股份有限公司
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