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晶圆玻璃通孔(TGV)设备

晶圆玻璃通孔(TGV)设备
  • 品牌:德龙激光
  • 产地:江苏
  • 关注度:6
  • 型号:晶圆玻璃通孔(TGV)设备
  • 报价:面议
核心参数
  • 器件类型:晶体管
  • 掺杂类型:n型(磷/硫)
  • 仪器种类:实验室
  • 测定原理:其它
  • 测定范围:0.01~5mg/L
  • 测定准确度:±1%
  • 检出限 :≤0.005mg/L
  • 测定时间:30样品/小时
  • 批处理量:不限
产品介绍

本设备主要利用激光进行诱导不同材质0.1~1mm厚晶圆玻璃的微孔加工(TGV)的全自动设备,可以实现各种尺寸盲孔、圆锥(通)孔的制备。

■ 设备参数

设备能力

加工材料

熔融石英,AF32等

加工能力

*小孔径:5μm@石英玻璃,厚度200~300μm

加工精度

±5μm,CPK>1.33

加工效率

**5000孔/s

产品尺寸

6”&8”

激光类型

IR(飞秒)

上料模组

Bare wafer Load Port*1

通讯方式

SECS/GEM

■ 应用领域

       用于玻璃通孔(TGV)、玻璃钻孔等

■ 加工效果示例图

       


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