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核心参数
- 结合剂类型：其他
- 金刚石类型：人工金刚石
- 磨削方式：干磨
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
人工将载板放到上下料工作台上，通过上下料工作台将载板放到上抛光盘上，然后进行自动抛光，机台配置摩擦力终点检测，可自动抛光至目标值才停止。
TPP-1310
晶圆尺寸
515*510mm / 600*600mm
抛光头数量
1 个
抛光头直径
OD930 mm
抛光盘直径
OD1300 mm
产品特点
终点检测
配备先进的高精度EPD监测功能
分区加压
优化压力分布，确保抛光均匀性
兼容性好
设备可兼容不同尺寸的基板
半自动上下料
**轻接触上下料系统，避免损伤
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北京特思迪半导体设备有限公司
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